真空吸附方式對KDP晶體加工精度的影響.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 本文在了解國內(nèi)外大口徑KDP(Potassinm Dihydengen Phosphate)晶體超精密加工現(xiàn)狀的基礎上，分析了真空吸附方式對KDP晶體加工精度的影響；用有限元方法計算了真空吸附方式對KDP晶體加工精度的影響；對本文的一些結論設計試驗進行驗證；對加工KDP晶體的真空吸盤的設計提出了一些建議。 首先分析了真空吸盤自身的面形精度對KDP晶體加工精度的影響，提高真空吸盤自身的面形精度對提高KDP晶體加工精度有很

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