LDMOS功率管金屬電極結構及工藝設計與實現(xiàn).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、LDMOS功率管廣泛應用于雷達探測領域，比如:機載、艦載、陸基相控陣雷達等領域。芯片電極是工作電流與微波信號的通道，也是整個LDMOS功率器件互聯(lián)的關鍵元素，電極的質量直接影響到LDMOS器件的性能優(yōu)劣。
　　本文主要論述了金屬電極系統(tǒng)完整的制作工藝，并利用濺射工藝來實現(xiàn)各層金屬的淀積，并且實際應用到LDMOS功率器件的制程中。文中首先詳細敘述了金屬硅化物制作的工藝技術，對比實驗獲得硅化鈷制作工藝方案，且其方塊電阻達到(1～3)Ω

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