GaN納米-微米線的制備、表征及應(yīng)用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、作為第三代半導(dǎo)體,氮化鎵GaN以其寬的直接帶隙、高電子遷移率、高熱導(dǎo)率、高擊穿電場等卓越性能被廣泛研究。隨著更多光電器件的微型化發(fā)展,GaN基微納器件受到高度的重視,其中基于GaN一維結(jié)構(gòu)的場效應(yīng)晶體管、光泵浦激光器、邏輯運(yùn)算器件、光電探測器等微納器件在國際上已陸續(xù)報道。GaN基微納器件的關(guān)鍵在于高性能 GaN微納材料的制備,一維GaN納米/微米線及其陣列的可控生長就顯得十分必要。本文采用化學(xué)氣相沉積法,合成了大量高質(zhì)量不同尺寸、不同生

2、長方向的GaN納米/微米線,并且利用簡單、低成本的管式爐制備了GaN微米線陣列。隨后基于所制備的GaN納米/微米線開展了一系列的探索研究,主要結(jié)果如下:
  (1)利用Ga或Ga2O3為Ga源,NH3做N源,通過化學(xué)氣相沉積法生長不同形貌納米/微米線,并表征其結(jié)構(gòu)性能、分析其生長機(jī)制。
  a)以Ga2O3為Ga源通過VLS過程在Si基底上生長直徑100-200nm,長約50μm的GaN納米線,通過VS過程在陶瓷舟上生長直徑

3、1~15μm,長數(shù)百微米的具有正六邊形橫截面的GaN微米線、于GaN基底上垂直生長GaN微米線陣列。
  b)以Ga金屬為Ga源獲得直徑約500nm-1μm,長至毫米級,c軸取向生長的竹節(jié)狀GaN微米線,在高鋁耐火磚生長了直徑300nm-1μm,長數(shù)百微米具有菱形橫截面GaN微米線、在藍(lán)寶石外延生長規(guī)則納米線。
  (2)以單根具有正六邊形橫截面的GaN微米線與GaN微米陣列分別作為光學(xué)諧振腔,研究了室溫下光泵激發(fā)性質(zhì)。實現(xiàn)

4、了單根GaN微米線WGM激發(fā),隨著線徑的增大,激光峰間距減小,獲得基于小直徑GaN的單模光泵激光器。GaN微米陣列激光屬于Fabry-Perot模式激光,激發(fā)閾值為410KW/cm2。
 ?。?)首次在國際上發(fā)現(xiàn)單根GaN微米線的憶阻效應(yīng)。制備了基于單根竹節(jié)狀GaN微米線多級憶阻器,提出了基于帶電缺陷在GaN竹節(jié)銜接界面的遷移實現(xiàn)高低阻切變的機(jī)理。利用GaN微米線憶阻器的延時效應(yīng)實現(xiàn)波形的調(diào)制功能,且可記憶器件斷電前的電阻狀態(tài)。利

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