高精度合成式波前編碼器件檢測方法研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、合成式波前編碼器件(或合成式相位板)是一種非旋轉(zhuǎn)對稱式非球面,它是由三次相位面面形和凸雙曲面面形相疊加而成,具有相位編碼功能和光學(xué)聚焦功能。由于該器件各個(gè)方向的光焦度均不同,可以很好的校正傳統(tǒng)成像系統(tǒng)的某些缺陷,這一顯著的優(yōu)勢已逐漸引起人們的關(guān)注,并應(yīng)用在某些光學(xué)系統(tǒng)的仿真模擬中。由于合成式波前編碼器件面形的獨(dú)特性,它的應(yīng)用一直受到光學(xué)加工和檢測技術(shù)的限制。雖然目前光學(xué)加工和檢測技術(shù)迅速發(fā)展,但是合成式波前編碼器件的加工和檢測手段仍不成

2、熟,無法滿足實(shí)際應(yīng)用的需求,所以尋求一種對其可以進(jìn)行高精度檢測的方法顯得尤為重要。
  本文針對合成式波前編碼器件面形的特殊性,提出利用干涉測量技術(shù)同時(shí)借助于衍射補(bǔ)償器——計(jì)算全息圖(CGH),來實(shí)現(xiàn)對合成式波前編碼器件的高精度檢測。本文主要的研究內(nèi)容如下:
  1、通過對合成式波前編碼器件的面形進(jìn)行分析,總結(jié)了幾種檢測此面形的檢測方案,對各檢測方案的測試原理及測試性能進(jìn)行了分析對比,最終確定采用CGH非接觸式干涉測量法,該

3、檢測方法具有對器件無損傷、測量精度高、易裝調(diào)等優(yōu)勢,具有較強(qiáng)的工程實(shí)用性。
  2、對計(jì)算全息法檢測合成式波前編碼器件的總體設(shè)計(jì)思路進(jìn)行了分析,然后在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了系統(tǒng)優(yōu)化,對系統(tǒng)中的各個(gè)光學(xué)元件的性能及參數(shù)進(jìn)行了確定,并利用誤差理論對其測試性能及參數(shù)進(jìn)行了評估。
  3、闡述了根據(jù)CGH相位方程進(jìn)行刻蝕條紋位置搜索從而得到CGH加工數(shù)據(jù)的方法,根據(jù)被測器件及測試光路的波前特性,綜合考慮裝調(diào)工藝,完成了計(jì)算全息圖樣板的設(shè)計(jì),

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