ICF系統(tǒng)光學(xué)元件高精度波前檢測技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、ICF驅(qū)動系統(tǒng)大口徑光學(xué)元件加工質(zhì)量的檢測和評價工作是保證整個系統(tǒng)安全、正常、高效運(yùn)行的關(guān)鍵,該論文在光學(xué)元件的高精度檢測和評價方法上進(jìn)行了新的探索,提出在檢測中使用兩個新參數(shù)——功率譜密度及波前位相梯度.另外為了降低目前中國ICF系統(tǒng)光學(xué)元件檢測中過大的資金投入和不能滿足需要的低空間分辨率問題,提出了子孔徑拼接檢測方法這一解決方案.通過研究使得中國ICF光學(xué)元件質(zhì)量檢測從傳統(tǒng)的空域過渡到了與系統(tǒng)要求聯(lián)系更為緊密的頻域,同時建立了一套實

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