1、光學薄膜厚度監(jiān)控除了解決光源穩(wěn)定性控制、光束傳輸、光電轉換靈敏性等問題以外，還存在一一個主要的技術難點：含有噪聲的膜厚監(jiān)控信號在極值點附近變化不靈敏，不易判讀其極值點準確位置，而準確判定監(jiān)控信號極值點才能準確控制薄膜厚度。 國內膜厚監(jiān)控系統(tǒng)普遍采用模擬鎖相放大技術對監(jiān)控信號進行去噪，信號殘余噪聲造成信號在極值點附近波動較大，不利于極值點判讀。國外采用高精度數(shù)字鎖相放大器提高信號信噪比，且信號在極值點附近更加平滑，有利于后續(xù)極值點

2、判讀，但是成本居高不下。而國內外判定監(jiān)控信號極值點普遍采用“過正判讀”、“剔除奇異值"等方法，膜厚監(jiān)控精度有限，而且實時性難于保證。 本文在分析數(shù)字鎖相放大原理基礎之上，利用MATLAB對數(shù)字鎖相放大器進行軟件仿真，對其中的參數(shù)設置提出了理論依據(jù)。針對光學膜厚監(jiān)控信號處理建立了卡爾曼濾波模型，提出基于DSP開發(fā)平臺、利用現(xiàn)代卡爾曼濾波技術對光學薄膜監(jiān)控信號進一步去噪平滑，并采用“電壓增量補償”和“設置差分微小閾值”聯(lián)用的方法去判