1、光學薄膜吸收損耗的存在不僅會影響薄膜的光學性能，更會造成激光在薄膜內(nèi)的熱沉積。尤其是在高功率激光系統(tǒng)中，即使十分微弱的吸收也會給薄膜元件帶來災難性的破壞。因此，有必要對光學薄膜的吸收進行精確、快速、實時的檢測。
　　 目前，基于光熱效應的一些吸收測量技術得到了廣泛的發(fā)展和應用，常用的光熱測量技術有光熱偏轉技術和表面熱透鏡技術。光熱失調技術是一種新型的光熱技術，它是利用光學薄膜元件反射或透射光譜隨溫度變化而發(fā)生漂移的溫度效應，通過

2、監(jiān)測某一波長處反射率或透射率的變化情況來研究光學薄膜的吸收。本論文主要基于光熱失調技術展開對光學薄膜微弱吸收測量的研究。主要完成了以下工作內(nèi)容:
　　 首先，闡述了光學薄膜吸收測量的背景和意義，介紹了國內(nèi)外吸收測量的一些研究現(xiàn)狀，并對常用的一些吸收測量技術和本論文研究中使用的光熱失調技術進行了介紹和對比，分析了各自的優(yōu)缺點。
　　 然后，對光熱失調技術的基本理論進行了介紹，詳細分析了高反射光學薄膜的溫度穩(wěn)定性問題，推導了

3、樣品吸收時的溫度場和光熱失調信號表達式。并分析了反射率溫度系數(shù)、頻譜帶邊緣斜率和反射光偏振特性等因素對吸收測量靈敏度的影響，為光熱失調技術的實驗研究提供了理論基礎。
　　 最后，搭建實驗系統(tǒng)，實現(xiàn)了利用光熱失調技術進行吸收測量。實驗研究了不同探測方式、加熱光入射角度、加熱光波長和調制頻率等因素對光熱失調技術的影響。在理論分析和實驗研究的基礎上，基于光熱失調技術提出了一種利用反射率或透射率、溫度變化和加熱光功率之間的三個線性關系，