高精度波前過程檢測技術(shù)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、現(xiàn)代光學系統(tǒng)多采用大口徑的光學元件來提高系統(tǒng)的測試精度.在普通數(shù)字波面干涉儀的基礎(chǔ)上,采用目標函數(shù)多孔徑拼接技術(shù),能很好地解決大口徑光學元件檢測問題,最終得到較完整的波前信息.該文首先在較大孔徑放大系數(shù)(>4)的情況下,論證了目標函數(shù)多孔徑拼接技術(shù),保證了較高的精度,得到較完整的波前信息.然后,結(jié)合實驗結(jié)果,從拼接模式、被測面形、測量誤差、數(shù)字干涉儀分辨率和不同孔徑放大系數(shù)等角度出發(fā),分析了各種因素對精度的影響,并詳盡的探討了各種誤差源

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