1、傳感器技術(shù)是當(dāng)今世界令人矚目且發(fā)展迅猛的高新技術(shù)之一，也是當(dāng)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要標(biāo)志。無(wú)論是在工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域，還是在日常的生活當(dāng)中，每一項(xiàng)技術(shù)都離不開傳感器。
　　設(shè)計(jì)和制造一個(gè)高精度、高穩(wěn)定性的壓力傳感器，主要在兩方面進(jìn)行考慮，一是原理和結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，涉及彈性體材料、應(yīng)變合金材料的選取，應(yīng)變結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，鍍膜、光刻、熱處理等工藝的研究。另一方面是傳感器探頭的信號(hào)調(diào)理，主要是對(duì)傳感器探頭的輸出信號(hào)進(jìn)行放大、有效信號(hào)轉(zhuǎn)換，并對(duì)零點(diǎn)、線

2、性、溫漂等誤差進(jìn)行補(bǔ)償，進(jìn)一步提高產(chǎn)品性能。特別在環(huán)境溫度變化較大的場(chǎng)合，帶來(lái)的測(cè)量誤差較大，一般需要進(jìn)行綜合技術(shù)補(bǔ)償。
　　如今經(jīng)過(guò)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制作的壓力傳感器的靈敏度、線性度有了很大的提高，但由于IC制造工藝和器件的溫度特性等因素，壓力傳感器中的零點(diǎn)誤差、靈敏度誤差和溫度漂移的缺點(diǎn)仍無(wú)法根本克服，這就要借助后續(xù)信號(hào)處理（補(bǔ)償）技術(shù)。
　　本文在傳感器信號(hào)調(diào)試處理的理論基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了一套實(shí)驗(yàn)室用的對(duì)壓阻式壓力傳感