1、隨著半導(dǎo)體器件的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體器件的計量測試在器件的研制和應(yīng)用中占有重要的地位。通過各種工藝制成的器件，最終檢驗其性能的優(yōu)劣就是通過對器件的參數(shù)測試來完成的。在器件的應(yīng)用中必須提供器件的特性參數(shù)才能進行要求的電路設(shè)計，從而實施電路的結(jié)構(gòu)和裝調(diào)。基于負(fù)載/源牽引法的微波大功率自動測試系統(tǒng)能使用戶在完全真實的情況下將已知的負(fù)載/源阻抗加到被測器件，從而找到被測器件參數(shù)的各種變化和最佳值。 本文主要介紹微波大功率自動測試系統(tǒng)的研制以

2、及測試系統(tǒng)的實際應(yīng)用，其中對于測試系統(tǒng)的核心部件——自動調(diào)配器的研究工作進行了擴展，包括滑塊結(jié)構(gòu)對反射系數(shù)的影響，以及利用不同雙滑塊進行頻帶的擴展兩個方面。本文首先介紹了負(fù)載牽引法的重要性以及微波大功率自動測試系統(tǒng)研制的必要性。其中較為詳細(xì)的介紹了測試系統(tǒng)的搭建，自動調(diào)配器的校準(zhǔn)軟件，以及系統(tǒng)的測試軟件。最后介紹微波大功率自動測試系統(tǒng)的實際應(yīng)用，其中主要是功率器件的參數(shù)測試，包括輸入輸出阻抗，交調(diào)，功率增益等，并將測試系統(tǒng)的應(yīng)用延伸到了