1、隨著MEMS的發(fā)展，微型泵市場需求量和品種越來越多，其結構也日趨復雜，傳統(tǒng)的經驗設計方法已難以滿足高效率、高質量微型泵設計的要求，利用CAD\CAE技術進行微型泵設計和分析已成為一種必然趨勢。然而，當前MEMSCAD設計的系統(tǒng)理論知識還未形成，相應的工具發(fā)展水平遠遠滯后于產品開發(fā)的步伐。為此，本文主要對微型泵優(yōu)化設計的系統(tǒng)理論方法進行綜合分析和研究，并對相應的原型系統(tǒng)軟件進行開發(fā)研究和應用示范驗證。 本文的研究內容和成果主要有：

2、 (1)在現有MEMS正反向設計方法的基礎上，提出了一種結合有限元數值模擬分析和非線性回歸分析的微型泵綜合優(yōu)化設計方法。 (2)根據提出的微型泵綜合優(yōu)化設計方法，以熱驅動微型泵為實例，進行了綜合優(yōu)化設計應用示范研究和驗證，主要包括：1)熱驅動微型泵有限元模型建立、求解、結果分析驗證，并將已驗證的模擬分析過程開發(fā)成參數化程序(MAPDL)，用于重復模擬分析使用；2)設計大量不同參數的熱驅動微型泵實例，并利用所開發(fā)的MAPD

3、L程序，對不同參數的實例進行模擬分析，獲取優(yōu)化設計所需的大量數據；3)采用非線性逐步回歸分析方法對熱驅動微型泵綜合優(yōu)化模型建立過程進行分析，并采用SAS軟件實現了最優(yōu)回歸模型的建立；4)利用已開發(fā)的遺傳算法優(yōu)化設計求解程序對最優(yōu)回歸模型進行求解，得到最優(yōu)設計參數，并驗證了結果的正確性和方法的可行性。 (3)對微型泵綜合優(yōu)化設計過程進行了原型系統(tǒng)開發(fā)研究，建立了原型系統(tǒng)構成框架；并采用面向對象技術及UML建模語言對系統(tǒng)開發(fā)進行了分