1、微動(dòng)工作臺(tái)是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)研究的關(guān)鍵之一。本論文主要針對磁懸浮式微動(dòng)工作臺(tái)的驅(qū)動(dòng)和測量方法展開研究。通過驅(qū)動(dòng)才能給微動(dòng)工作臺(tái)提供合適的電流或電壓，輸出所需功率驅(qū)動(dòng)它們運(yùn)動(dòng)；通過測量才能獲得工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)的位移信息，為工作臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制提供依據(jù)。 在驅(qū)動(dòng)方法方面，本論文采用了線性功率放大的電流驅(qū)動(dòng)方案，設(shè)計(jì)和選擇了以不同功放為核心的兩種驅(qū)動(dòng)電路。在相同的實(shí)驗(yàn)條件下，經(jīng)過對兩者的綜合分析與評價(jià)，本論文認(rèn)為LM1875驅(qū)動(dòng)電路無論在性能方面

2、還是在制造成本方面更具有可行性，具體表現(xiàn)在負(fù)載穩(wěn)定度、輸出電壓紋波、電流線性度等方面有著良好的效果。 在測最方法方面，通過對多種測量方法的論述和分析，針對現(xiàn)在研制的磁懸浮式微動(dòng)工作臺(tái)，本論文采用了基于PSD的三角位移測量方法，并且在此基礎(chǔ)上提出了一種新型的位移角度同時(shí)測量方法。通過該測量方法的研究和實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證了位移角度同時(shí)測量的可行性。另外，在誤差處理方面提出了一種用細(xì)分迭代的數(shù)學(xué)手段來減小環(huán)境光源對測量影響的方法。 在