1、自動(dòng)物料傳送設(shè)備是半導(dǎo)體制造過程中的重要組成部分，該類設(shè)備目前基本被國外及臺(tái)灣的設(shè)備公司壟斷。隨著中國電子產(chǎn)品生產(chǎn)的快速增長，自主研發(fā)半導(dǎo)體芯片測(cè)試自動(dòng)物料傳送設(shè)備具有極強(qiáng)的實(shí)用性和廣闊的市場(chǎng)前景。
　　 本文針對(duì)企業(yè)的實(shí)際需求，分析了半導(dǎo)體制造的自動(dòng)物料傳送系統(tǒng)(AMHS，Automatic Material Handling System)的布局原理，確定了以自動(dòng)引導(dǎo)小車(AGV，Automatic Guided Vehic

2、le)作為半導(dǎo)體芯片調(diào)度設(shè)備，以測(cè)試機(jī)臺(tái)作為半導(dǎo)體芯片測(cè)試設(shè)備的方案，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)物料傳送設(shè)備的設(shè)計(jì)，并完成了其控制軟件的開發(fā)。
　　 針對(duì)半導(dǎo)體芯片測(cè)試自動(dòng)物料傳送設(shè)備芯片托盤和測(cè)試機(jī)臺(tái)的參數(shù)，詳細(xì)分析了半導(dǎo)體芯片測(cè)試自動(dòng)物料傳送設(shè)備機(jī)械結(jié)構(gòu)的功能要求與特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)引導(dǎo)小車(AGV)、吊籠、夾持機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、直線機(jī)構(gòu)等機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。
　　 針對(duì)半導(dǎo)體芯片的數(shù)據(jù)對(duì)接，分析了半導(dǎo)體芯片托盤和測(cè)試設(shè)備的數(shù)據(jù)線對(duì)接結(jié)構(gòu)，