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1、在IC芯片封裝成型過(guò)程中,由于封裝熔體充填流動(dòng)與IC芯片的熱流固耦合作用使IC芯片產(chǎn)生耦合變形,這會(huì)嚴(yán)重影響IC芯片的性能。然而,如何準(zhǔn)確預(yù)測(cè)和精密控制IC芯片的熱流固耦合變形至今仍是IC芯片封裝成型亟待解決的工程技術(shù)難題。國(guó)際上現(xiàn)有的基于純黏性牛頓流體的熱流固耦合變形預(yù)測(cè)理論難以準(zhǔn)確描述IC芯片的熱流固耦合變形形成機(jī)理,為此研究建立真實(shí)描述黏彈性熔體與IC芯片的黏彈性熱流固耦合效應(yīng)產(chǎn)生的變形的形成機(jī)理理論模型對(duì)于預(yù)測(cè)和精密控制IC芯片
2、的熱流固耦合變形顯得尤為重要。而至今這一科學(xué)問(wèn)題仍未得到解決,為此本文開(kāi)展了這一科學(xué)問(wèn)題的理論研究,并以此研究建立了IC芯片的黏彈性熱流固耦合變形形成過(guò)程的虛擬仿真技術(shù)。本文構(gòu)建了黏彈性熱流固耦合變形與黏彈性流變性能參數(shù)和過(guò)程工藝參數(shù)的關(guān)聯(lián)理論,揭示了黏彈性熱流固耦合變形形成機(jī)理,使IC封塑成型工藝與模具的設(shè)計(jì)做到“有章可循”,為實(shí)現(xiàn)IC封塑成型加工從“摸索制造”到以科學(xué)求質(zhì)量、以技術(shù)保成功的“全流程綜合控制的工業(yè)化科學(xué)制造”的飛躍轉(zhuǎn)變
3、奠定了科學(xué)的理論基礎(chǔ)。
黏彈性和純黏性熔體IC封塑成型過(guò)程的對(duì)比分析研究結(jié)果表明黏彈性熔體和IC芯片熱流固耦合效應(yīng)與純黏性熔體和IC芯片熱流固耦合效應(yīng)有著本質(zhì)的差異,研究黏彈性熔體與IC芯片的熱流固耦合作用機(jī)制,探討IC芯片在黏彈性熔體與IC芯片熱流固耦合壓力場(chǎng)、溫度場(chǎng)和應(yīng)力場(chǎng)的多場(chǎng)協(xié)同作用下的變形機(jī)制是準(zhǔn)確預(yù)測(cè)IC芯片熱流固耦合變形和研發(fā)IC芯片熱流固耦合變形精密控形技術(shù)的理論前提。
本文基于PTT黏彈性本構(gòu)模型,
4、研究建立了準(zhǔn)確描述IC封塑成型過(guò)程中黏彈性熔體充填流動(dòng)與IC芯片固體熱流固耦合效應(yīng)及其IC芯片黏彈性熱流固多場(chǎng)耦合作用變形理論模型,并以此研究建立了IC芯片的黏彈性熱流固耦合變形形成過(guò)程的虛擬仿真技術(shù),為揭示聚合物黏彈性熔體填充環(huán)境下IC芯片的變形機(jī)制提供了理論支撐。
研究建立了黏彈性熱流固耦合變形與黏彈性流變性能參數(shù)和過(guò)程工藝參數(shù)的關(guān)聯(lián)理論,IC芯片的熱流固耦合變形隨填充熔體參考黏度、黏度比、注射速度的增大而增大,而隨熔體松
5、弛時(shí)間和模壁溫度的增大而減小。
研究發(fā)現(xiàn)聚合物熔體的黏彈特性對(duì)IC芯片熱流固耦合變形形成的本質(zhì)影響是減小了IC芯片上下表面的熱流固耦合壓力差和黏彈性熔體的流動(dòng)正應(yīng)力對(duì)IC芯片形成了彈性支撐約束作用,從而導(dǎo)致黏彈性熔體充填流動(dòng)誘發(fā)的IC芯片熱流固耦合變形明顯小于純黏性牛頓熔體充填流動(dòng)誘發(fā)的IC芯片熱流固耦合變形。
研究發(fā)現(xiàn)黏彈性熔體與IC芯片熱流固耦合變形的主控參數(shù)是IC芯片上下表面的熱流固耦合壓力差,黏彈性熔體與IC
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