移相干涉術(shù)中波面計算方法以及移相器校正技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、移相干涉術(shù)(PSI)作為快速、非接觸的精密測量手段,已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于光學(xué)零件、光學(xué)系統(tǒng)、精密表面的檢測和其它與光程差參數(shù)相關(guān)的物理量的測量(如溫度場、密度場等).該文首先介紹了移相干涉術(shù)的基本原理和特點,對其中的一些關(guān)鍵技術(shù)問題進行了研究.論文在對波面解包進行了詳細理論分析的基礎(chǔ)上,設(shè)計了相位解包算法,編制程序?qū)嶒灁?shù)據(jù)進行了處理.提出了分析靜態(tài)干涉圖的新方法——虛光柵莫爾條紋法,該方法把移相干涉術(shù)和莫爾條紋法兩者相結(jié)合,能夠有效的解決

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