1、MEMS慣性測量組件具有體積小、功耗低、成本低和可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，在民用和軍用領(lǐng)域都具有廣闊的應(yīng)用前景。因此，提高M(jìn)EMS慣性器件的精度是非常必要的。本文利用實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有的實(shí)驗(yàn)設(shè)備對實(shí)驗(yàn)室自制的低成本MEMS慣性測量組件進(jìn)行標(biāo)定和補(bǔ)償方法研究。
　　首先，對實(shí)驗(yàn)室自制低成本MEMS慣性測量組件進(jìn)行確定性誤差分析，確定其誤差項(xiàng)，建立其常溫下的系統(tǒng)誤差模型和溫度誤差模型，利用帶溫箱的單軸速率轉(zhuǎn)臺進(jìn)行十八位置靜態(tài)、六位置動態(tài)和變溫等標(biāo)定實(shí)驗(yàn)

2、，通過不同的算法解算得到誤差模型中的誤差系數(shù)，最后對補(bǔ)償結(jié)果進(jìn)行分析。
　　其次，考慮到自制MEMS慣性測量組件的實(shí)際用途，利用三軸仿真速率轉(zhuǎn)臺進(jìn)行復(fù)合運(yùn)動實(shí)驗(yàn)，觀察復(fù)合運(yùn)動對器件的影響。建立陀螺儀的耦合項(xiàng)誤差模型，設(shè)計(jì)兩種不同的實(shí)驗(yàn)方案進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，通過算法解算最終得到耦合項(xiàng)的系數(shù)，完成了MEMS陀螺儀的復(fù)合標(biāo)定過程。
　　再次，對MEMS慣性器件的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行了PSD分析和Allan方差分析，表征和辨識了其隨機(jī)項(xiàng)誤差，利用時