MTS-MTO生產(chǎn)模式下半導(dǎo)體制造過程動態(tài)調(diào)度方法.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、北京化工大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文日期:二。一三年十一月二十九日學(xué)位論文數(shù)據(jù)集中圖分類號TP273學(xué)科分類號5108060論文編號l001020140803密級學(xué)位授予單位代碼100lO學(xué)位授予單位名稱北京化工大學(xué)作者姓名劉彥超學(xué)號2010000803獲學(xué)位專業(yè)名稱控制科學(xué)與工程獲學(xué)位專業(yè)代碼081l國家自然科學(xué)基金項復(fù)雜系統(tǒng)建模、調(diào)度與課題來源研究方向目優(yōu)化論文題目MTs/MTo生產(chǎn)模式下半導(dǎo)體制造過程動態(tài)調(diào)度方法加工周期,預(yù)測,mS/M

2、To生產(chǎn)模式,自適應(yīng)神經(jīng)模糊推理系統(tǒng),關(guān)鍵詞設(shè)備負(fù)荷控制論文答辯日期20131126論文類型應(yīng)用研究學(xué)位論文評閱及答辯委員會情況姓名職稱工作單位學(xué)科專長指導(dǎo)教師曹政才教授北京化工大學(xué)復(fù)雜系統(tǒng)建模優(yōu)化控制評閱人1王晶教授北京化工大學(xué)控制可續(xù)與工程評閱人2張金會副教授北京化工大學(xué)控制理論評閱人3評閱人4評閱人5撇員會捕王晶教授北京化工大學(xué)控制可續(xù)與工程答辯委員l楚紀(jì)正教授北京化工大學(xué)先進(jìn)控制答辯委員2祝海江副教授北京化工大學(xué)模式識別與智能控

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