1、隨著人類社會和科學技術的不斷進步，人們對于機械系統的要求也越來越高，一般的機械系統已經無法滿足人類的需求。這就要求機械系統向小型化微型化方向發(fā)展。微電子機械系統(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)以其自身的體積小、重量輕、功耗低、速度快、靈敏度高等優(yōu)點受到世界各國的青睞，被迅速而廣泛地應用于航空航天、軍事、生物醫(yī)學、信息、自動控制等領域。但是微電子機械系統卻并沒有如當初想象般地快速發(fā)展。由微結構

2、特殊的結構特征而引起的系統可靠性和穩(wěn)定性問題成為制約它迅速發(fā)展的一個“瓶頸”，因此對微結構動力學特性的研究顯的尤為迫切和重要。當材料的本征長度與結構尺寸很接近時，金屬材料的力學性能呈現出很強的尺寸效應并且空氣阻力的作用也變得無法忽視，所以尺寸效應和空氣阻尼已經成為了對微電子機械系統動力學特性產生巨大影響的因素。經典的連續(xù)介質理論已經無法解釋這些現象。由于經典彈性力學和動力學理論的局限性，無法解決微結構系統動力學的問題，所以系統部件的動力